飛秒激光微處理技術是一種直接的無掩模技術，能夠引起掩埋在透明玻璃和聚合物表面之下的永久折射率增加，從而能夠以3D幾何形狀製造光子電路。我們描述了重複率如何影響激光脈沖之間的熱量積聚，這決定了聚合物中玻璃的修飾方式和所產生的形態變化。在大多數矽酸鹽和磷酸鹽玻璃中，較高的重複頻率已顯示出有助於驅動增加的熱量累積，從而導致低損耗光波導的快速製造。

在純二氧化矽中由於其高的帶隙而具有低吸收，因此降低了熱累積效應，並且需要來自基於Yb的飛秒激光器的二次諧波可見光波長提供的更高通量，近視雷射以形成高度封閉的光波導。在聚合物中，飛秒激光波導寫入通常會導致折射率降低和時間衰減行為。



該飛秒激光直寫技術已經成為用於製造高品質的綜合的有力工具光子元件。直寫平台將靈活，快速的原型與真正的3D功能，與光纖的兼容性以及幾乎任何透明材料的處理能力結合在一起。在本章中，回顧了飛秒激光誘導修飾的基礎物理學以及導致局部折射率變化出現的機理。還討論了利用該過程製造光子組件的實驗方法以及飛秒激光直寫平台的當前功能。

甲飛秒激光器被選擇為用於機械加工的孔。使用50μm和100μm厚的AISI 316L不銹鋼箔（Fe / Cr18 / Ni10 / Mo3）作為起始材料。所使用的激光器是Ti：Sapphire CPA飛秒激光器，λ= 775nm，t脈衝<150fs，6kHz時P = 0.5W，Epulse〜80mJ，M2 <1.3（幾乎為高斯）。掃描儀頭是安裝有x和y鏡的Raylase Turboscan電動馬達。鏡頭是遠心鏡頭，f = 80mm，光斑大小約為 50μm。